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    晶圓自動去邊機

    天弘晶圓自動去邊機使用高精密的激光加工掃描技術,應用于GPP二極管晶圓中各種圖形切割加工,適用于半導體產業分立器件中的GPP二極管晶圓的切割。
    產品編號:
    沒有此類產品
    我要詢價
    激光器功率:
    30W-100W
    加工幅面:
    可定制
    產品描述
    技術參數
    應用領域
    樣品展示

    天弘晶圓自動去邊機產品特點:

     

    1、使用高精密的激光加工掃描技術,應用于GPP二極管晶圓中各種圖形切割加工。

     

    2、采用先進的掃描振鏡加工配合XYθ三軸平臺切割圖形,運用相應的

     

    3、精密定位識別系統實現加工件自動識別,定位和自動加工。

     

    4、加入自動上料和下料系統實現全程自動化加工。

    未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

    設備型號

    晶圓自動去邊機

    激光類型

    紅外IR

    紅外IR

    紅外IR

    激光波長

    1064nm

    1064nm

    1064nm

    激光功率

    30w

    50W

    100W

    最大加工晶圓尺寸

    4 inch

    4 inch

    4 inch

    掃描速度

    300mm/s

    800mm/s

    800mm/s

    融邊大?。ㄖ本€段)

    80~100um

    80~100um

    100~120um

    對焦方式

    自動(Z軸運動)

    自動(Z軸運動)

    自動(Z軸運動)

    綜合切割精度

    ±1mil

    ±1mil

    ±1mil

    加工定位方式

    自動上下料&自動對位

    自動上下料&自動對位

    自動上下料&自動對位

    效率(切割)

    <30s

    <20s

    <10s

    天弘晶圓自動去邊機適用于半導體產業分立器件中的GPP二極管晶圓的切割。

    暫未實現,敬請期待
    暫未實現,敬請期待

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